高飽和磁化・高透磁率FeCo薄膜の強磁性共鳴周波数の高周波化とその応用

研究課題

研究代表者	劉小晰信州大学, 大学院総合工学系研究科, 準教授
研究期間 (年度)	2007
概要	本提案は、FeCo合金/Co合金薄膜構造による新規な軟磁性薄膜の特性、実用プロセスに負荷される温度に対する体制を評価し、インダクタとしての性能の基礎特性を評価してその実用性能の第一歩を把握するものである。高飽和磁化Msを持つ体心立方Fe70Co30と高異方性磁界Hk を持つ六方晶Co合金を積層化し、薄膜インダクタ用磁芯材料として提案する。