洗浄廃液中のパルスレーザ生成プラズマによる有機物質処理

研究課題

研究代表者	岡野大祐東海大学, 工学部電気電子システム工学科, 学科主任・教授
研究期間 (年度)	2007
概要	液晶表示装置、半導体および電子部品製造工場の洗浄廃液には微量ではあるが難分解性の有機物が含まれ、環境廃棄には問題とされている。本研究ではパルスYAG レーザを繰り返し発振させながら、処理空間を走査するとともに、微細気泡との併用で発生するプラズマ密度を高めて、難分解性の有機系有害化学物質を分解処理する手法を開発する。