ダイヤモンド薄膜の環境制御化学研磨技術の開発

研究課題

研究代表者	西口隆新潟大学, 大学院自然科学系, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	ダイヤモンド薄膜のローカル結晶方位に依存しない、グローバル平坦化化学研磨条件の確立を目的とし、現在実用化されているダイヤモンド多結晶薄膜を対象にした最適化学研磨条件を研磨雰囲気の制御により明らかにする。