1. 前のページに戻る

ダイヤモンド薄膜の環境制御化学研磨技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

西口 隆  新潟大学, 大学院 自然科学系, 教授

研究期間 (年度) 2007
概要ダイヤモンド薄膜のローカル結晶方位に依存しない、グローバル平坦化化学研磨条件の確立を目的とし、現在実用化されているダイヤモンド多結晶薄膜を対象にした最適化学研磨条件を研磨雰囲気の制御により明らかにする。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst