MEED波動場を利用した表面吸着構造の解析法の開発

研究課題

研究代表者	堀尾吉已大同工業大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2007
概要	ナノ技術分野の量子効果デバイス等の開発では、薄膜のヘテロエピ成長も然ることながら、その吸着表面構造の原子レベルでの分析・評価も重要である。本課題は、中速電子回折(MEED)を利用した結晶表面の吸着原子の識別と吸着サイトの新しい解析法の確立と実用化を目指すものである。すなわちMEED の入射電子線により形成される結晶試料表面近傍の波動場(入射電子密度分布)を利用するものであり、その波動場により励起される吸着原子からのオージェ電子強度を測定することにより解析を可能とする。本試験研究では、Si 単結晶上に吸着したAl 及びAg 原子の吸着構造を対象とし、視射角変化に対するオージェ電子強度の変化を実験で測定する。一方、各視射角における波動場を多重散乱理論から明らかにし、吸着サイト上の波動場強度と実験で得たオージェ電子強度との相関関係を検証すると共に、測定系を整備して本方法の確立を図る。