ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発

研究課題

研究責任者	富取正彦北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授
研究期間 (年度)	2004 – 2007
概要	超高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)の試料ホルダー内に収まるペンシル型の走査型プローブ顕微鏡(SPM)を開発・複合化する。SEMは「目」の役割を、SPMは「手」の役割を担う。『表面観察・評価装置』はもとより、『ボトムアップ型ナノテクノロジー・ツール』として広く利用できる装置として事業化を目指す。