パラレル・ナノライティングシステムの開発とナノデバイス創成への応用

研究課題

研究責任者	磯野吉正立命館大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2004 – 2007
概要	NEMSと称されるナノシステムを試作・開発するためには、既存半導体プロセス技術に適合したナノ微細加工技術が必須となる。本研究では、MEMSアクチュエータによって個々のプローブが独立して駆動するマルチプローブアレイと、原子間力顕微鏡技術に基づいたパラレル・ナノ描画システムを新開発し、安価で容易、かつ高精度なナノパターニング技術を構築する。さらに、ナノ描画システムと、単分子薄膜マスク技術およびマイクロマシーニング技術を組み合わせて、ナノシステムの試作技術の確立を目指す。