知能性基板を用いた高感度・超小型強誘電体薄膜スマートセンサの開発

研究課題

研究代表者	石田誠豊橋技術科学大学, 教授
研究期間 (年度)	2005 – (非公開)
概要	エピタキシャルγ-Al2O3/Si基板(知能性基板)を用いることで、単結晶強誘電体薄膜センサとSi集積回路との一体化を図ったスマート赤外線イメージセンサ、超音波イメージセンサを開発する。高機能、高感度、超小型、低コスト化が実現できれば、赤外線センサは家電、防犯だけでなく、車載やFA等の分野へ、超音波センサは物体の3次元認識が可能となることによりロボット、医療等の広範な分野への応用展開が期待される。