マイクロナノ構造体成形に適した電鋳材料の開発

研究課題

研究代表者	安田吉伸滋賀県東北部工業技術センター, 機械電子・金属材料担当, 技師
研究期間 (年度)	2007
概要	電鋳技術は精密な転写性を有していることから、MEMS(微細電気機械システム)といった最先端技術に応用されている。しかし従来の電鋳材料であるニッケルや銅では1強度不足、2耐久性不足、3材料組織の不均一性などの問題があり、さらなる微細成形品へ応用するには問題があった。そこで、上記3点の問題点を解決する様な、マイクロナノ構造材料に適した電鋳材料の開発を行う。