金属プラズマを利用した大面積イオン源の実用化

研究課題

研究代表者	重本明彦和歌山県工業技術センター, 材料技術部, 研究員
研究期間 (年度)	2007
概要	金属表面に対する金属イオン注入やドライコーティングを目的としてEBガン(電子ビーム蒸発源)を装荷した低ガス圧高電離金属プラズマによる金属イオン注入法を提案する。その特徴としてEBガンによる金属蒸気を2段階放電により高電離プラズマ化する技術があげられる。この金属イオン化技術と未電離金属蒸気の回収技術を工夫することにより大面積で取り扱いが簡便な金属イオン源を試作し、その性能評価を行う。