ホーリーファイバーを用いた高効率連続波真空紫外光源の開発

研究課題

企業責任者	サイバーレーザー株式会社
研究期間 (年度)	2005 – (非公開)
概要	65nmノード以降の次世代半導体LSI製造過程においては、LSIパターンの原案であるマスク・レチクルの欠陥検査装置、およびウェハ概観検査装置において、連続波(CW)の真空紫外レーザー光源(波長200nm未満)が必須となる。本研究においては、次世代半導体製造技術のキーコンポーネントの一つとして実用化が待望される真空紫外レーザー光源の実現を目的とする。本研究では、大型・非効率なアルゴンレーザーを、新ファイバーレーザー技術ならびに新非線形光学技術を用いて全固体化し、最終波長198.5nmを全固体装置として完成する。具体的には、ダイオード(LD)励起ホーリーファイバーレーザーによる976nm帯赤外光を、擬似位相整合素子(QPM)による可視(488nm)CW波長変換、CLBO結晶を用いた外部共振器によるUV(244nm)波長変換、CLBO結晶を用いた和周波混合(ファイバーレーザー1064nm光混合)波長変換して198.5nm光を得る。開発要素は、ホーリーファイバーを用いたLD励起976nm光源、QPM素子による可視CW波長変換、CLBO結晶を用いた外部共振器高性能UV波長変換である。