カーボンナノチューブ形成過程その場観察と物性制御への展開
研究代表者 |
本間 芳和 日本電信電話株式会社, NTT物性科学基礎研究所, 主幹研究員グループリーダー
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2003 – 2007
|
| 概要 | カーボンナノチューブ(CNT)は最も注目されているナノ構造材料ですが、電子素子への応用は、基板上で の高度なCNT成長制御の実現無しには有りえません。本研究では、化学気相成長によるCNT成長過程を、電子顕微鏡および分光学的手法によりその場観察する計測技術を開発し、形成過程の解明を通じて精密な成長制御・物性制御を実現します。これにより、CNTを用いた量子集積素子や光集積素子の実現が期待されます。
|
|---|
| 研究領域 | 高度情報処理・通信の実現に向けたナノファクトリーとプロセス観測 |
|---|
