| 体系的課題番号 |
JPMJCR08G4 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJCR08G4 |
研究代表者 |
畠 賢治 独立行政法人産業技術総合研究所, ナノチューブ応用研究センター, スーパーグロースCNTチーム長
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2013
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| 概要 | カーボンナノチューブ(CNT)MEMSデバイス産業を実現するための、デバイス基盤製造技術と、異材料とのインテグレーション技術を開発します。ボトムアップの技法と微細加工技術を組み合わせて、CNTの位置・形状を自由自在に制御しながら集積化させ、異材料とインテグレーションさせ、デザインされた機能を有するCNT素子・ナノ(MEMS)デバイスを創製します。
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| 研究領域 | プロセスインテグレーションによる機能発現ナノシステムの創製 |
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