コヒーレントEUV光を用いた極微パタン構造計測技術の開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0842
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0842
研究代表者	木下博雄兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授
研究期間 (年度)	2008 – 2013
概要	Ｘ線回折顕微法をＥＵＶ領域に展開し、より高精度な露光パタンの寸法計測ならびに欠陥観察が可能な計測技術の確立を図ります。スタンドアロン型の極短パルスレーザの高次高調波レーザからのコヒーレントＥＵＶ光源とＥＵＶスキャトロメトリー顕微鏡との融合により、サブナノ精度のパタン寸法計測および露光用マスク欠陥観察技術を構築します。
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究

報告書

(2件)