超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0845
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0845
研究代表者	松井真二兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授
研究期間 (年度)	2008 – 2013
概要	次世代微細加工技術としてナノインプリント技術が注目されていますが、集積回路応用にはスループット、ＣＤなどの課題があります。その解決には、ナノインプリントにおける材料・プロセスの科学的な解明と画期的な手法の提案が求められています。本研究課題では、実用性の高いナノインプリントリソグラフィに向けて材料・プロセス技術の開発を行います。
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究

報告書

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