酸化物へテロナノワイヤ構造体による不揮発性メモリ素子の創製
研究代表者 |
柳田 剛 大阪大学, 産業科学研究所, 助教
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 概要 | 本研究では、微細加工限界を凌駕したナノ空間で機能が集積された遷移金属酸化物へテロナノワイヤ構造体を、自然の摂理を用いた自己集合的な手法で設計・創製します。さらに基板上での位置制御技術により作製される高集積化ナノワイヤ構造体を用いて、制限ナノ空間における不揮発性メモリ素子動作を、そのメカニズムの解明と共に実証することを目指します。
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| 研究領域 | ナノ製造技術の探索と展開 |
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