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マルチプローブ顕微鏡プローバーシステム

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 実証・実用化タイプ

体系的番号 JPMJSN08C7
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN08C7
企業責任者 (株)ユニソク
研究期間 (年度) 2008 – 2010
概要本事業「要素技術プログラム」において開発・発展させてきた超高真空4探針STM( 走査トンネル顕微鏡)-SEM( 走査電子顕微鏡) 装置をさらに高度化し広く普及させるために、その実証機を試作します。また、本装置で核心的要素となる機能性カーボンナノチューブ(CNT) 探針について、その大量生産に適するCNT 探針直接成長法を確立し,プラズマCVD カーボンナノチューブ成長装置実証機を試作します。また、探針の「その場」作成装置を超高真空4 探針STM-SEM 装置と結合させ、探針の酸化劣化を防いで超伝導特性や強磁性特性を維持した探針による多機能計測を実現し、アプリケーション計測の多様化を図ります。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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