多人数教育用その場観察 MUST-SEM(Mobile Use See-Through SEM)の開発

研究課題

体系的課題番号	JPMJSN08C9
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN08C9
企業責任者	新日本電工(株)
研究期間 (年度)	2008 – 2010
概要	微細加工、ナノ加工の製造現場でのオンマシン評価用チャンバーレス超小型SEM をプロトタイプとして、小学校でも学習利用でき、野外での活用も可能なバッテリー駆動で、無線データ伝送を行い多人数が携帯型端末によって同時に観察できる「多人数教育用その場観察SEM(走査型電子顕微鏡)」を開発します。透明強化樹脂を極力採用したSeeThrough 構造にして、理科教育推進を目指します。