電界誘起酸素エッチングによる探針先端の原子レベル先鋭化

研究課題

研究代表者	水野清義九州大学, 大学院総合理工学研究院, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	タングステン針は、電解液中での電気分解を用いた研磨法によって比較的容易に先鋭化することが可能で、走査プローブ顕微鏡の探針や電子顕微鏡の電界放出電子源として用いられている。代表研究者らは、真空中、酸素雰囲気において高電界を加えることにより電界蒸発を行い、針先を3 nm の曲率半径に先鋭化する手法を見出した。本研究では、得られた針を用いて走査プローブ顕微鏡の観察を行い、高性能探針として実用化を目指す。また、電界放出パターンを測定し、電子源としての性能評価を行う。