ナノダイヤモンド/アモルファスカーボン複合膜の高温用ヒートシンクへの応用

研究課題

研究代表者	堤井君元九州大学, 大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	半導体素子とヒートシンク間の密着性と放熱性向上には、熱膨張係数が小さく、熱伝導率が高く、導電率を制御できるヒートシンク材料が望まれる。ナノダイヤモンド膜は、ダイヤモンドナノ粒子が非晶質炭素膜に分散した新しいナノ構造複合膜である。本研究においては、熱膨張係数と導電率を制御して作製した膜の熱伝導率を評価し、高温パワーデバイス用ヒートシンクを開発することを目的とする。