LSI内部のビアオープン故障の検査入力生成法の開発

研究課題

研究代表者	四柳浩之徳島大学, 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	近年のLSIの高集積化・多層化にともない、内部配線においては層間のビアが多数用いられている。ビア欠陥によるオープン故障が発生した際には、隣接配線の電圧等による影響を受けるが、対象となる故障数および故障現象数が膨大で検査が困難である。本研究では、ビアオープン故障の検査に関して、実ICのレイアウトから検査入力生成の対象とするビア数の削減を行い、効率的な検査入力生成法についての開発を行う。また、擬似オープン故障を挿入するIC試作により実ICにおける評価を行う。