超塑性発泡法を用いた閉気孔の選択的導入と低誘電率基板への応用

研究課題

研究代表者	岸本昭岡山大学, 大学院自然科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2008
概要	高速スイッチングや高周波用途での伝送遅延を防ぐためには、絶縁基板の誘電率を下げることが有効である。本研究では絶縁体セラミックス基板を対象にして、閉気孔導入により多孔化させる技術の確立を目指とともに、低誘電率化させたい部分にのみ気孔を選択導入する新方式を提案する。