マグネシウムシリサイド系熱電変換材料の耐酸化膜の開発

研究課題

研究代表者	谷淳一大阪市立工業研究所, 電子材料担当, 研究主任
研究期間 (年度)	2008
概要	マグネシウムシリサイド系材料は、地球上に原料が豊富に存在し、毒性元素を含まず、安価で高性能が期待できるコストパフォーマンスの高い熱電変換材料であるが、大気中、中高温域で利用すると酸化により性能が劣化するため実用化には至っておらず、耐酸化性を向上させる必要がある。本研究では、マグネシウムシリサイド系熱電材料上に酸化防止膜としてスパッタ法による鉄ケイ化物(?-FeSi2)膜の形成技術を確立し、大気中で500°C付近の中温域でも利用できるマグネシウムシリサイド系熱電材料の開発を目指す。