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テラヘルツ・プロファイロメトリーの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

安井 武史  大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 助手

研究期間 (年度) 2008
概要表面形状測定(プロファイロメトリー)は工業製品の品質評価を始めとした様々な分野で幅広く利用されているが、従来の光学的手法では表面が粗面の物体(金属粗面、樹脂製品など)を計測することは強い光散乱のため困難であった。本研究では、光波と電波の境界に位置するパルス状テラヘルツ波の自由空間伝搬・コヒーレントビーム・超短パルス特性いった特徴に加え、波長が極めて長いことに起因する低散乱性を利用することにより、粗面物体の表面形状測定が可能なTHzプロファイロメトリーを開発する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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