高信頼性金属半導体ナノ複合材料の開発

研究課題

研究代表者	八重真治兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	シリコン表面にめっきを行うことで、従来にはない高い密着性を持つ金属薄膜をMEMSなどに用いられる複雑な形状の母材に均一に成膜する、高信頼性金属半導体ナノ複合材料を開発する。平成19年度シーズ発掘試験11-118「新規ウェットプロセスによる高密度垂直磁気記録媒体の製造」の成果を踏まえて、製造法を確立する。