クリーンルーム用多孔板吸音材の研究と消音装置の開発

研究課題

研究代表者	宇津野秀夫京都大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	超微細加工が行われる環境では、機器や試料の微振動が加工精度に影響する。微振動の原因には地盤振動の外に、機器が発する音圧による周囲機器の励振があるがグラスウールなどの吸音材は繊維や薄膜で構成されるため、クリーンルームのような清浄な環境下では使用できない。そこで本研究では多孔板を用いたクリーンルーム用の吸音材を提案し、消音ボックスに適用して音圧低減効果を実証し、その音圧低減効果を予測する設計技術を確立する。