セラミックス被覆綱の高機能化のための成膜後基板焼入れ処理条件に関する検討

研究課題

研究代表者	田邉裕貴滋賀県立大学, 工学部機械システム工学科, 助教
研究期間 (年度)	2008
概要	鋼基板に薄膜を成膜した後に基板の焼入れを行う成膜後基板焼入れ処理により、薄膜の密着強度や耐摩耗性が大幅に改善されることがわかってきた。これらの効果は、主に成膜後基板焼入れ処理時の加熱過程においてもたらされるが、温度や時間などの加熱条件と薄膜の各種機械的特性との関係は十分明らかではない。本研究では、これらの関係を明らかにし、適切な成膜後基板焼入れ処理の条件を提案することを目的とする。