半導体レーザの自己結合効果を用いた高精度微小振動センサシステムの開発

研究課題

研究代表者	山田諄愛知工業大学, 工学部電気学科電子工学専攻, 教授
研究期間 (年度)	2008
概要	半導体集積回路の細線化やMEMS等ナノ技術の進歩に伴い、製造過程において従来無視されてきたnm程度の微小振動を非接触で測定できる微小振動センサシステムの開発を目的とする。半導体レーザ光を対象物に照射したとき、散乱光の一部がレーザに戻りレーザ共振器内の光と干渉し、出力光が僅かに変化する自己結合効果を利用する。本センサシステムは、簡単な構成で小型、安価であるが、外部振動にも強く非接触でnm程度の微小振動検出が期待できる。