研究代表者 |
田渕 雅夫 名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教授
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2008
|
| 概要 | X線回折測定の一種、X線CTR(crystal truncation rod)散乱測定は、原子層単位で原子分布を評価できる。本研究では、これまで行ってきた半導体結晶成長装置と容易に組み合わせ可能なX線CTR散乱測定法の開発を推し進め、新たに設計された導入するスリット系の導入によって、測定精度と測定されるスペクトルの質を大幅に向上するとともに、多様な測定モードでの測定が可能な装置とすることを目的とする。
|
|---|
