多機能ナノ加工・計測システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発

研究課題

研究代表者	柴田隆行豊橋技術科学大学, 生産システム工学系, 助教授
研究期間 (年度)	2008
概要	将来のナノテクノロジーを支える革新的な製造技術として,ナノメートルレベルの微細加工(機械的除去加工,電気的加工など)が行え,かつ原子間力顕微鏡(AFM)としてのナノ形状計測・表面物性評価機能を同時に有する次世代の“ナノ加工・計測システム”の実現を目標とし,本研究では,高硬度・耐摩耗性を有するダイヤモンドAFMプローブの開発およびその製造プロセス(量産技術)を確立する.