炭素系硬質薄膜のFTIRその場分析手法を用いた表面酸化に伴う摩耗評価試験方法の新規開発

研究課題

研究代表者	野老山貴行名古屋大学, 大学院工学研究科機械理工学専攻, 助教
研究期間 (年度)	2008
概要	硬質炭素薄膜表面の酸化度合いと摩耗量の定量的な評価のためには表面に吸着する気体分子や官能基が重要であり,これらを定量的に分析可能な環境制御型FTIRを用いた表面吸着官能基の分析と摩擦試験を同時に行い,摩耗量と吸着官能基の定量評価を行うことが理想的である.高感度多重反射測定法で行うためGeプリズムを基板材料として用い,表面に数nmの薄膜を成膜し吸着官能基量と摩耗量の測定を行い,評価手法の確立を行う.