プラズマフォーカス装置による低コスト・高品質のDLCパルス製膜技術の開発

研究課題

研究代表者	升方勝己富山大学, 大学院理工学研究部, 教授
研究期間 (年度)	2008
概要	ダイアモンド様炭素(DLC)は、高硬度・低摩擦等の特性からコーティング材として幅広い応用が期待される。本課題では、高品質DLC膜生成を目指し、プラズマフォーカス(PF)装置を用いたパルス製膜技術の開発を行う。PFは大電流ピンチプラズマ生成装置であり、プラズマから高エネルギー密度の電子及びイオンビームが生成される。我々は、ビーム照射により生成されるプラズマによる高速製膜とビーム照射による膜質改善、パルス加熱による熱処理効果が同時に期待出来る製膜技術を開発した。この製膜法についてDLC膜の物性評価、製膜条件の最適化を通じてその実用化を目指す。