研究代表者 |
田中 康規 金沢大学, 理工研究域, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2008
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| 概要 | 誘導熱プラズマは不純物濃度の低い超高温状態を実現できるため、超高速材料プロセスへの応用が期待できる。申請者らは、この誘導熱プラズマの機能性・制御性をさらに高めるために、これまでに誘導熱プラズマを維持するコイル電流に変調を加えるパルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)、さらに任意波形変調誘導プラズマ(AMITP)を世界で初めて開発した。本研究では新開発した上記変調高熱流誘導熱プラズマを用いた超高速表面窒化処理技術の開発を目的としている。
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