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ポリイミド/CNT複合体の微細加工技術と電極・電子部品応用

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

伊東 栄次  信州大学, 工学部 電気電子工学科, 助教授

研究期間 (年度) 2008
概要本技術は耐薬品性や耐熱性に優れたポリイミドをナノインプリント技術と異方性エッチング技術により微細加工し、電極開口部にカーボンナノチューブ(CNT)とポリイミドの複合体を埋め込む技術を提供するものである。電界電子放出源として4V/μm 以下で1mA/cm2 を実現し、直径5μm のビアホールにおいて10Ω以下の立体配線を実現することを目標とする。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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