ポリイミド/CNT複合体の微細加工技術と電極・電子部品応用

研究課題

研究代表者	伊東栄次信州大学, 工学部電気電子工学科, 助教授
研究期間 (年度)	2008
概要	本技術は耐薬品性や耐熱性に優れたポリイミドをナノインプリント技術と異方性エッチング技術により微細加工し、電極開口部にカーボンナノチューブ(CNT)とポリイミドの複合体を埋め込む技術を提供するものである。電界電子放出源として4V/μm 以下で1mA/cm2 を実現し、直径5μm のビアホールにおいて10Ω以下の立体配線を実現することを目標とする。