レーザ光を用いた実時間表面形態計測法の開発

研究課題

研究代表者	石澤広明信州大学, 繊維学部, 助教授
研究期間 (年度)	2008
概要	レーザスペックル計測システムの精度、妥当性および汎用性など実用化の課題を検討するため、触針式表面粗さ計測による表面粗さとレーザスペックルの特徴との対応関係を検証する。この際、レーザ光の使用波長、あるいはスペックルパターンの特徴抽出法を最適化する。また、表面に異物が存在する場合のレーザスペックルパターンを対比させることで短時間、非接触で工業製品等の異物を実時間で計測するシステムを検討する。