1アトリットルの超微少量堆積塗付装置の開発

研究課題

研究代表者	岩田太静岡大学, 工学部機械工学科, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	レーザートラップ技術による微小物の捕捉・移動技術と、基板への固定技術を組み合わせた微小物配置技術を検討する。諸条件の最適化により高速かつ安定な堆積条件を見出す。