走査電子顕微鏡による透過二次電子像観察のための試料ホルダ開発

研究課題

研究代表者	村中祥悟浜松医科大学, 実験実習機器センター, その他
研究期間 (年度)	2008
概要	走査電子顕微鏡(SEM)を用いて、透過電子顕微鏡(TEM)用薄膜試料の透過二次電子像が観察できる試料ホルダの開発・実用化を試みるものである。透過像観察の試料は、超薄切片、薄膜上の微生物・タンパク、レプリカ膜などとし、これらの試料が装着できる形状とする。得られる透過二次電子像のコントラスト・解像度及び試料移動等の操作性についてTEMに匹敵する性能を目指すと共に、薄膜試料のX線元素分析にも対応できる試料ホルダの開発をするものである。