非接触インライン計測へ向けた3次元動画顕微鏡の開発

研究課題

研究代表者	塩田達俊長岡技術科学大学, 産学融合トップランナー養成センター, 産学融合特任准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	物体の3次元形状を高速かつ精密に計測する技術の開発が、製品検査・医療・生命科学などの多くの分野から期待されている。本課題ではこの要求に役立つ3次元動画顕微鏡を開発する。本計測器は光周波数コムを光源とした光学干渉計による3次元形状を観測する手法であり、従来の白色光源を用いた手法とは全く異なる。具体的には、従来の顕微鏡の100倍の速度で、ミクロン精度の3次元像を観察できる計測器を実現する。