ナノワイヤ探針カンチレバの作製と高アスペクトパターンの三次元計測

研究課題

研究代表者	曾根逸人群馬大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	半導体デバイスの微細化に伴い、作製した回路パターンの形状をより高精度に計測する技術が求められている。原子間力顕微鏡(AFM)は、三次元形状をナノメートル分解能で計測可能であるが、測定結果に探針形状が重畳されることや、微細パターンでは探針が入らないことがあるため、先鋭な探針が必要とされている。そこで、本研究ではAFMカンチレバの探針先端にナノワイヤを成長させる高アスペクト探針作製法の確立を目指す。また、作製した高アスペクト探針を用いて、半導体デバイスの高アスペクトパターンの三次元計測を試みる。