ナノインプリント用金型電鋳のための厚膜レジスト微細・長深度加工技術開発

研究課題

研究代表者	西川宏之芝浦工業大学, 工学部電気工学科, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	本研究は集束プロトン線描画によるナノインプリント用金型の電鋳母型の実用化への開発を目的としている。インプリント技術は量産効果と大幅なコスト低減が期待でき、IT、バイオ、環境、エネルギー等と波及効果は高い。その課題の一つは金型製作技術である。本研究課題は、従来技術に比べコスト面、加工性能面等で優れるサブミクロン径の集束プロトンビーム描画により、ナノインプリント用金型電鋳用の微細母型を作成し、電鋳により金型作製を行う。