8の字形3次元微小振動を利用した金型鏡面研磨システムの開発

研究課題

研究代表者	水野雅裕岩手大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2008
概要	工具先端に8の字形3次元微小振動(数百Hzの振動数)を与えることのできる工具振動システムを開発した。8の字形3次元振動の方位は、コンピュータ制御により3次元空間において自由に変えることができる。こうした振動を用いることで、微細なクロスハッチを被研磨面に与えるような研磨が可能になる。本研究では、10nmRa(算術平均粗さ)レベルの粗さを得ることを目標として、8の字形3次元微小振動による基本研磨特性を明らかにする。