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アセンブリフリー単一マスク回転傾斜露光法の開発とバイオ応用

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

鈴木 孝明  京都大学

研究期間 (年度) 2008
概要本研究では、従来のMEMSプロセスにおいて技巧的問題であったアライメントやボンディングを不要とする作製技術として、特殊なパターン設計を行ったマスクを用いて傾斜と回転を組み合わせた多段階露光により複雑な3次元形状を作製する方法を提案し、実用化を目的とした構造物の微細化と高度化について検討すると共に、応用例として、遺伝子解析研究の高機能ツールとなる染色体DNA伸長固定デバイスの高密度集積化についても検討する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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