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AFM 探針評価標準試料の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 実証・実用化タイプ

体系的番号 JPMJSN09C1
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN09C1
企業責任者 エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ(株)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
概要原子間力顕微鏡(AFM) による実形状測定のために、本事業「要素技術プログラム」での成果をもとに、プローブ形状測定標準試料及び校正状態確認用グレーティングの実用化に向けた開発を行い、多層膜を利用した標準試料作製技術を確立します。また、市場にあるAFM カンチレバーに対応した標準試料を開発することで、カンチレバーに形状測定機能の付加価値をつけ、ISO に準拠したソフトウェアを開発し、ユーザーに利便性を提供します。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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