| 体系的課題番号 |
JPMJSN09C1 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSN09C1 |
| 企業責任者 |
エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ(株)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 概要 | 原子間力顕微鏡(AFM) による実形状測定のために、本事業「要素技術プログラム」での成果をもとに、プローブ形状測定標準試料及び校正状態確認用グレーティングの実用化に向けた開発を行い、多層膜を利用した標準試料作製技術を確立します。また、市場にあるAFM カンチレバーに対応した標準試料を開発することで、カンチレバーに形状測定機能の付加価値をつけ、ISO に準拠したソフトウェアを開発し、ユーザーに利便性を提供します。
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