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リアルタイムステレオSEMの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 実証・実用化タイプ

体系的課題番号 JPMJSN09CE
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN09CE
企業責任者 (株)日立ハイテクノロジーズ
研究期間 (年度) 2009 – 2011
概要既に開発されたプロトタイプ機は、高倍率のリアルタイムステレオ観察実現のため、軸外収差を低減させる電子光学系(収差低減光学系)技術を採用しています。しかし、収差低減光学系を設定するには多くのマニュアル操作を必要とし、操作性に課題があります。本開発では、主にこの課題を解決するためグラフィカル・ユーザー・インターフェース(GUI)を含めた収差低減電子光学系設定の制御ソフト作成、電子光学系の構成見直しと共に、裸眼対応高解像度立体表示装置の開発を行います。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2023-03-29  

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