体系的番号 |
JPMJPR0969 |
DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJPR0969 |
研究代表者 |
野田 優 東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授
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研究期間 (年度) |
2009 – 2012
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概要 | カーボンナノチューブ(CNT)およびグラフェンは、優れた電荷移動度と電流耐性から半導体集積回路の次世代材料として期待されますが、その実用化には製造/実装プロセスの階層的な開発が鍵となっています。本研究では、独自のコンビナトリアル手法を援用した分子構造・自己組織化形態制御により、二層グラフェン半導体層、多層CNT縦配線、多層グラフェン横配線等、多様なナノカーボン構造体を自在に実装する技術基盤を構築します。
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研究領域 | 革新的次世代デバイスを目指す材料とプロセス |