3軸触覚センサチップ

研究課題

研究代表者	東京大学
研究期間 (年度)	2009 – (非公開)
概要	3軸触覚センサチップはMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いて製作されており、米粒の半分程度のサイズのチップの中に圧力センサ、並びに2軸のせん断力センサが作り込まれている。従来の触覚センサは圧力の検出がメインであり、せん断力の検出は圧力分布の時間変化から算出するものが一般的であるが、本センサチップは圧力、せん断力の両方を直接計測するものである。触覚のように多数のセンサをアレイ状に配置してデータ処理を行うシステムにおいては、処理速度の速さ、並びに低コスト化につながるシステムのシンプルさは大きな優位点となる。既存の触覚センサと比較して小型、軽量、安価に製作可能など、多数の利点を持つ。しかしながら収率が低く、これが量産化を進める上で一番の課題となっている。本研究開発の目的は、3軸触覚センサチップの収率を段階的に引き上げ、量産化の目処を付けることである。