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ラジカル測定用時間分解ATR-FUV 分光システムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 機器開発タイプ

体系的番号 JPMJSN09AH
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN09AH
研究責任者 尾崎 幸洋  関西学院大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度) 2009 – 2012
概要近年、ラジカル種の酸化還元力を半導体洗浄プロセス、食品の殺菌洗浄、環境汚染物質の分解処理などに利用する技術の重要性が高まっています。本開発では、水の遠紫外(FUV)分光スペクトルがラジカル生成によって変化するという独自の発見に基づき、水溶液中で起こるラジカル反応を追跡可能な時間分解ATR-FUV分光システムの実現を目指します。この方法では溶媒そのものをプローブとして利用するため、ラベルフリーでラジカル濃度を測定することが可能となります。これにより、最先端の半導体洗浄プロセスにおけるラジカル測定など、ものづくり現場での具体的ニーズへの革新的な応用が期待されます。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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