中性子集光用非球面スーパーミラーデバイスの開発

研究課題

研究責任者	山村和也大阪大学, 大学院工学研究科附属超精密科学研究センター, 准教授
研究期間 (年度)	2009 – 2012
概要	非接触化学的形状創成法のローカルウェットエッチング法と、イオンビームポリッシュを援用したイオンビームスパッタ成膜によるスーパーミラー形成技術とを融合させ、世界最高性能の中性子二次元集光用非球面スーパーミラーデバイスの製造プロセスを確立します。これにより、高密度記録媒体の微小領域精密磁気構造解析などの高機能材料の開発促進が期待されます。