革新的プロセスによる金属/機能性酸化物複合デバイスの開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR0947
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR0947
研究代表者	湯浅新治産業技術総合研究所, エレクトロニクス研究部門, 研究グループ長
研究期間 (年度)	2009 – 2014
概要	金属磁性材料と機能性金属酸化物材料の複合構造による新しい不揮発性スイッチング機能の創出を目指し、材料選択、製膜条件最適化などを通して革新的プロセスを開発し、そのデバイス実証を行います。
研究領域	次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究

報告書

(2件)