大気圧プラズマ科学に基づく新たなSi材料創成プロセスの開発
| 体系的番号 |
JPMJCR09Q7 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJCR09Q7 |
研究代表者 |
安武 潔 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2009 – 2014
|
| 概要 | 本研究は、大気圧近傍の高圧力プラズマを用いて、廉価な低純度シリコン(Si)原料から太陽電池用Siを製造するプロセスを開発するものです。プラズマ内部や材料表面で生じる現象を原子レベルで解明し、高度に制御する手法を確立することにより、低純度Si原料からのシラン生成反応を超高速化します。これにより新しい高純度Si材料創成プロセスを開発し、太陽電池用Si材料不足の解消と太陽電池製造コストの大幅な低減に貢献します。
|
|---|
| 研究領域 | 太陽光を利用した独創的クリーンエネルギー生成技術の創出 |
|---|
