液中プラズマによる化合物半導体結晶の形成法の開発

研究課題

研究代表者	豊田洋通愛媛大学, 大学院理工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究では、液中プラズマ化学蒸着法を用いて、従来では大がかりな真空プロセス装置を用いて行われてきた化合物半導体結晶の形成を、安全で簡単な装置によって、形成することを目標とする。液中プラズマ化学蒸着法を用いた時の化学結合における結合電子の授受を決定し、優先する化学反応から順に一連のプロセス反応を決定し、設計を行う。その液中プラズマプロセスを用いて高純度化合物半導体の形成実験を行い検証する。